我國工業冷卻水使用廣泛，要保證工業冷卻水安全有效運行，需要對循環冷卻水中污垢，腐蝕及微生物的危害進行有效控制。相比較利用臭氧發生器控制微生物是簡單、安全、經濟、有效的方法，臭氧發生器產生臭氧混合到冷卻水中具有除藻、阻垢、消毒殺菌的效果。
工業冷卻水中的微生物品種繁多，大致可分為三大類，即細菌、真菌、藻類。由于循環冷卻水溫度適宜，又有微生物生長的營養物質，微生物在段時間內能大量增殖，給冷卻水系統帶來極大危害，影響冷卻水運行的安全。微生物在工業循環冷卻水系統中的危害主要有兩個方面：
1、微生物粘泥危害——微生物在冷卻水系統中大量繁殖時，會使水質變臭、變黑；大量生物粘泥粘在冷卻設備上，造成傳熱效率下降，輸水管道中阻力增加，能耗增加。
2、微生物的腐蝕危害——微生物的生長導致在冷卻設備金屬腐蝕，破壞冷卻設備系統。
對工業循環冷卻水微生物的控制，主要從幾方面綜合進行：
1、改善補充水的水質、減少補充水中微生物的含量。
2、在冷卻水系統增加過濾裝置，將微生物及其粘泥過濾出冷卻水。
3、利用臭氧發生器產生臭氧與冷卻水混合達到除藻、阻垢、消毒殺菌的效果
臭氧滅菌或抑菌作用，通常是物理的、化學的及生物學等方面的綜合結果。其作用機制可歸納為：（1）作用于細胞膜，導致細胞膜的通透性增加，細胞內物質外流，使細胞失去活動；（2）使細胞活動必需的酶失去活性；（3）破壞細胞內的遺傳物質或使其失去功能。臭氧殺滅病毒是通過直接破壞核糖核酸或脫氧核酸完成的。而殺滅細菌、霉菌類微生物則是臭氧首先作用與細胞膜，使細胞膜的構成收到損傷，導致新陳代謝障礙并抑制其生長，臭氧繼續滲透破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞通透性，導致細胞溶解、死亡。
臭氧處理冷卻水，據文獻報道，美國在上世紀70年代末期已開始在這方面的探索和研究。其成果顯示，臭氧可以作為惟一的處理藥劑來代替其他的冷卻水處理劑，達到殺菌、除垢、緩蝕、氧化有機物等多方面的目的。能使冷卻水系統在極低的排污量甚至在零排污下運行，從而節水節能，并且不存在任何環境污染問題。臭氧是一種廣譜的滅菌劑，消毒效果遠強于二氧化氯等，并且不受水中PH值得影響，安全無殘留，是工業冷卻水的首選的滅菌劑。
